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導(dǎo)電薄膜的電阻檢測新技術(shù)-渦流法電阻測量儀
針對(duì)手提式薄膜方塊電阻測試儀在使用中容易出現(xiàn)的問題,進(jìn)行分析研究,提出了解決方案,并在實(shí)驗(yàn)中得到實(shí)現(xiàn).研究的問題包括:電池供電的電壓監(jiān)測;探頭*與被測樣品接觸良好的檢測;防止探針對(duì)被測樣品造成電擊穿;測量時(shí)自動(dòng)進(jìn)行量程轉(zhuǎn)換等。
相關(guān)（硅，多晶硅，碳化硅等）半導(dǎo)體/太陽能電池材料
的新材料/相關(guān)功能性材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
導(dǎo)電薄膜相關(guān)的（金屬，ITO等）
硅基外延離子注入的樣品
化合物與半導(dǎo)體有關(guān)的（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*請(qǐng)與我們聯(lián)xi）
無論樣品大小和形狀如何均可進(jìn)行測量（但是，大于20mmφ且表面平坦）
[電阻率] 1 m至200Ω·cm
（*所有探頭類型的總范圍/厚度500 um）
[抗熱阻] 10 m至3 kΩ/ sq
（*所有探頭類型的總范圍）
*有關(guān)每種探頭類型的測量范圍，請(qǐng)參閱以下內(nèi)容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（ 0.5至60Ω-??cm）
（4）S高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）
（5）太陽能晶片：5至500Ω/□（0. 2至15Ω-cm）
