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日本OKK紫外線輻射器概述

發(fā)布時間:2021-04-07 點擊量:1957

日本OKK紫外線輻射器概述

紫外線輻射器概述
紫外線輻照器是一種用紫外線輻照并固化可紫外線固化的膠帶/薄膜的設備。當剝離在背面研磨和切塊等過程中使用的保護帶時,該固化帶可用于固化應用,例如在半導體芯片制造過程中研磨或切割工件的過程。
有兩種模式,一種是輻照任意積分光量×1的積分輻照模式,一種是輻照任意時間的輻照時間模式,可以在設定條件下輻照紫外線。
LED規(guī)格和全自動類型是在我們的高壓汞規(guī)格-黑光規(guī)格中以手動型黑光規(guī)格準備的,我們必須根據(jù)開發(fā)和生產(chǎn)計劃排列各種紫外線照射設備。
近年來,我們擁有配備有UV-LED(一種LED光源)的全自動設備,我們正在努力降低運行成本并考慮到環(huán)境資源來設計設備。
 
 
紫外線照射器MA-UVI-系列
概述
黑光規(guī)格的手動紫外線照射器是臺式紫外線照射器,可固化可紫外線固化的膠帶膠水,粘合劑等。
UVI-1201MB7
增強型燈照度監(jiān)控類型,每個燈下方都裝有一個照度傳感器。
它可以快速檢測到燈的照度降低和意外的燈燒壞,并防止由于照射不足而造成的損失。
采用
365nm波長燈的標準功能是在半導體晶圓制造過程的背面研磨過程中晶圓保護膜的剝落,
在固化紫外線可固化樹脂材料(例如切塊后的芯片拾?。┓矫婢哂谐錾墓袒?,在各種應用中均來自研發(fā)到生產(chǎn)現(xiàn)場
號碼我們采用。

打開頂蓋,放置工件,然后通過操作開關進行紫外線照射。
可以從前面的觸摸面板輕松輸入輻照

基本操作
打開頂蓋,放置工件,然后通過操作開關進行紫外線照射。
可以從前面的觸摸面板輕松輸入輻照條件。
當達到設定的累計照射量(或累計時間)時,指示燈將熄滅,并且蜂鳴器會通知您。

 

特征

大功率,低成本

通過采用36W規(guī)格的黑光,可以以低成本實現(xiàn)高照度(10mW / cm2或更高)。
照度的均勻性也得到了改善。(與我們的常規(guī)產(chǎn)品相比)

 

可選擇的照射方式

關于照射設定,可以任意設定累計光強度或照射時間。觸摸屏易于設置。
您可以從8種食譜中進行選擇。

 

N 2吹掃功能

N 2吹掃功能可防止由于氧氣抑制而導致的不良固化。

 

具有監(jiān)控功能

實時監(jiān)控照度和溫度。發(fā)生異常時,警報將通知您。

 

出色的可維護性

由于采用了打開和關閉的方法,因此不僅在可用性方面而且在諸如檢查燈的燒壞和更換燈的可維護性方面都是*的。

 

緊湊的設計

盡管其緊湊型臺式設計,但它支持2到12英寸的各種工作尺寸。
作為作品,可以放置最大尺寸為W410毫米x D360毫米的作品。

 

多種語言

觸摸面板可以從三種類型中選擇:日語,英語和中文。

 

可靠的設計

由于采用了黑光,因此不會產(chǎn)生臭氧的ECO規(guī)范。
具有安全功能,在工作期間打開蓋子時會自動關閉。

 

輻照面罩(可選)

通過使用可選的掩模,可以防止不必要的部分被紫外線照射,并且僅照射晶片/芯片部分
。此外,只需輕輕一按即可輕松更換面罩,只需短暫切換到其他尺寸
即可。

規(guī)格

尺寸寬520 x深550 x高200(毫米)
外部的SUS304
重量約30公斤
照射面積寬410 x深360(毫米)
目標工作6英寸劃片架x 2
8英寸劃片架x 1
12英寸劃片架x 1
  (*不能照射整個12英寸)
紫外線燈黑色淺藍色燈36W x 7(型號:FPL36BLB-OKK)
紫外線照度9mW / cm2以上
N 20.4-0.5Mpa 100L /分鐘
電源AC100V 50 / 60Hz 10A
 
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